Vakuumschalter für präzise Vakuummessung
Vakuumschalter sind Geräte, die zur Überwachung und Regelung von Vakuumprozessen eingesetzt werden. Sie messen den Druck in einem Vakuumsystem und schalten bei Erreichen bestimmter Druckwerte. Diese Schalter finden Anwendung in verschiedenen Industrien, darunter die Halbleiterfertigung, die Lebensmittelverpackung und die chemische Industrie.
Funktionsweise von Vakuumschaltern
Vakuumschalter arbeiten in der Regel mit einem Drucksensor, der den aktuellen Vakuumdruck erfasst. Bei Erreichen eines definierten Druckwertes sendet der Schalter ein Signal, um beispielsweise eine Pumpe zu aktivieren oder zu deaktivieren. Diese Funktion ermöglicht eine zuverlässige Steuerung des Vakuums in einem System.
Typen von Vakuumschaltern
Es gibt verschiedene Typen von Vakuumschaltern, die sich in ihrer Funktionsweise und Anwendung unterscheiden.
-
Mechanische Vakuumschalter: Diese Schalter nutzen mechanische Komponenten, um den Druck zu messen. Sie sind robust und eignen sich für viele industrielle Anwendungen.
-
Elektronische Vakuumschalter: Diese Geräte verwenden elektronische Sensoren zur Druckmessung. Sie bieten oft eine höhere Genauigkeit und können mit modernen Bedienelementen verbunden werden.
-
Differenzdruckschalter: Diese Schalter messen den Druckunterschied zwischen zwei Punkten und sind nützlich in Anwendungen, bei denen der Druck in einem System konstant gehalten werden muss.
Anwendungsbereiche von Vakuumschaltern
Vakuumschalter finden in vielen Bereichen Anwendung. In der Halbleiterindustrie überwachen sie den Druck in Vakuumkammern während der Produktion. In der Lebensmittelverpackung steuern sie den Vakuumprozess, um die Haltbarkeit von Produkten zu verlängern. In der chemischen Industrie regulieren sie den Druck in Reaktoren und verhindern Überdrucksituationen.
Vakuummessgeräte und deren Bedeutung
Vakuummessgeräte sind eng mit Vakuumschaltern verbunden. Sie erfassen den Vakuumdruck und liefern die notwendigen Daten für die Regelung. Die Kombination aus Vakuummessgerät und Vakuumschalter ermöglicht eine umfassende Überwachung und Steuerung von Vakuumsystemen.
Bedienelemente für Vakuumschalter
Die Integration von Bedienelementen in Vakuumschalter-Systeme verbessert die Benutzerfreundlichkeit. Moderne Systeme bieten digitale Anzeigen und Schnittstellen, die eine einfache Ablesung und Anpassung der Druckwerte ermöglichen. Diese Bedienelemente können auch mit übergeordneten Steuerungssystemen verbunden werden, um eine umfassende Automatisierung zu erreichen.
Die wichtigsten Hersteller von Vakuumschaltern sind: Pfeiffer Vacuum, Edwards, Leybold, Agilent Technologies, Oerlikon, Busch, KLA-Tencor, Inficon, Ametek, MKS Instruments.
...